光柵式線性測微計工作原理及輸出信號類型

光柵式線性測微計主要使用傳動型光電線性編碼器，如下圖所示。在這個類型中，光源 (LED) 和檢測器要素 (發(fā)光二 管) 彼此相對，主尺和指示尺 (20μm 間距) 在它們之間。

當光柵尺相對檢測器移動時，透過指示尺窗口的光線亮度連續(xù)變化。同時，輸出兩個同步的正弦波信號形成 90 度相位差。這些信號被放大和分離 (使用插入的附加波形)，并以0.1μm、0.5μm、1μm 和 5μm 的正弦波信號輸出。

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光柵式線性測微計處理內部檢測到的信號和輸出正弦波信號如下圖所示。這些 90 度相位差的正弦波操作信號相當于 RS-422A 信號，測頭可以獨立使用。但是，某些型號 (LGD 和 LGS) 不能輸出正弦波信號而是輸出 Digimatic 代碼(SPC)，用以鑒定測量位置。